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      基于激光傳感器的液體靜壓導(dǎo)軌模態(tài)仿真與測試方法研究

      張立斌 航空工業(yè)北京航空精密機械研究所; 北京100076

      關(guān)鍵詞:靜壓導(dǎo)軌 激光傳感器 有限元分析 模態(tài)性能 

      摘要:在超精密加工設(shè)備中,超精密液體靜壓導(dǎo)軌是其關(guān)鍵部件.影響導(dǎo)軌性能的因素有很多,隨著加工精度的不斷提高,導(dǎo)軌的動態(tài)特性成為了不可忽視的因素之一,導(dǎo)軌模態(tài)性能測試的準確性更成為其關(guān)鍵.本文采用某型激光傳感器對液體靜壓導(dǎo)軌進行頻譜響應(yīng)測量,測量精度高,測量準確.

      航空精密制造技術(shù)雜志要求:

      {1}參考文獻按照引用文獻出現(xiàn)的先后順序以方括號[1]、 [2]、 [3]連續(xù)編碼,統(tǒng)一置于文章末尾。在文中標注時,如果位于句尾,則需要放在句號里面。

      {2}所投稿件要求觀點明確,論據(jù)可靠,層次分明,論述精練,語言準確,符合規(guī)范。

      {3}自收稿之日起,編輯部將在3個月內(nèi)給作者答復(fù)來稿處理意見,如在此期限內(nèi)未收到采用通知,作者可另行處理稿件并告知我刊。

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