硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的研究
王志偉; 鄒芹; 李艷國; 王明智 燕山大學機械工程學院; 河北秦皇島066004; 燕山大學; 亞穩(wěn)材料制備技術(shù)與科學國家重點實驗室; 河北秦皇島066004
關(guān)鍵詞：金剛石薄膜 硼及其協(xié)同摻雜 電學性能 改性方法
摘要：在金剛石中摻入雜質(zhì)元素會在保留其原有優(yōu)良性能的基礎(chǔ)上獲得其他性能,如摻入硼元素可以使金剛石成為P型半導體;協(xié)同摻雜其他元素可以改善金剛石的電學性能、催化活性等,甚至可以改變硼摻雜金剛石薄膜的導電機制.本文詳細介紹了硼及其協(xié)同摻雜金剛石薄膜的制備方法、結(jié)構(gòu)特點以及微觀形貌,綜述了影響其性能的因素及改性方法.
金剛石與磨料磨具工程雜志要求:
{1}引用資料非來自原始出處時，應注明“轉(zhuǎn)引自”。轉(zhuǎn)引文獻時，應先注明原始作品 之相關(guān)信息，再注明轉(zhuǎn)引所據(jù)之文獻。
{2}根據(jù)著作權(quán)法的有關(guān)規(guī)定，編輯部對來稿有權(quán)做文字性和技術(shù)性的修改、刪減。如有特殊情況請在稿件附言中注明。
{3}每篇論文應有200字左右的“摘要”，3-8個“關(guān)鍵詞”。摘要要求表達簡練，語義確切，結(jié)構(gòu)嚴謹；應包括目的、方法、結(jié)果和結(jié)論；用第三人稱編寫；應反映論文的主要內(nèi)容。
{4}作者姓名、性別、出生年、籍貫、民族、工作單位、職稱、學歷、研究方向。
{5}基金論文所涉及的課題如取得國家或部、省級以上基金項目，應腳注于文題頁左下方，作者單位上方，并附基金證書復印件，本刊將優(yōu)先處理與刊登。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
