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石墨烯納機電諧振式傳感器研究進展
關(guān)鍵詞：石墨烯 諧振 納機電 傳感器 綜述
摘要：石墨烯是一種新型的二維納米材料,因獨特的電學(xué)和力學(xué)性質(zhì)而備受關(guān)注。近年來,一系列針對石墨烯諧振特性及其應(yīng)用的研究得到廣泛開展,已顯示出石墨烯在諧振式納機電傳感器領(lǐng)域巨大的應(yīng)用潛力。簡要描述了石墨烯優(yōu)異的物理性能和目前主要的幾種石墨烯制備工藝現(xiàn)狀,重點介紹了近期石墨諧振器的實驗、理論研究以及石墨烯諧振器在壓力、加速度和質(zhì)量等物理量傳感器方面的應(yīng)用進展,其中主要圍繞石墨烯諧振敏感結(jié)構(gòu)、敏感機理和研究方法等方面進行評述,并分析了石墨烯諧振式傳感器研發(fā)所面臨的挑戰(zhàn)和發(fā)展前景。
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