關(guān)鍵詞:mems 慣性 傳感器 現(xiàn)狀 趨勢
摘要:自上世紀(jì)90年代以來,針對MEMS慣性器件的研究越來越多,MEMS慣性傳感器開始得到廣泛的商業(yè)應(yīng)用。本文對部分MEMS慣性傳感器國內(nèi)外的新近研究成果進行了分類與歸納,分別對MEMS加速度計、MEMS陀螺儀和微慣性測量組合以及慣性微系統(tǒng)進行了研究與分析。對MEMS慣性傳感器發(fā)展趨勢進行了初步推斷,認為未來MEMS慣性傳感器的發(fā)展主要有四個方向:高精度,以滿足日益精細化、智能化的應(yīng)用需求;微型化,以實現(xiàn)便攜、分布式應(yīng)用要求;高集成度,以完成多種功能高密度組合;適應(yīng)性強,以適應(yīng)復(fù)雜應(yīng)用環(huán)境,拓寬應(yīng)用范圍。
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