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      集成電路工藝用過氧化氫中雜質(zhì)元素的檢測方法

      李春華; 田玉平; 高艷秋 上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院

      關(guān)鍵詞:電子級 過氧化氫 高分辨質(zhì)譜 

      摘要:

      上海計(jì)量測試雜志要求:

      {1}來稿請通欄排版,正文中如有圖、表,請放置于正文中相應(yīng)的位置,彩色圖須轉(zhuǎn)成黑白圖。

      {2}來稿要求切勿一稿多投,作者應(yīng)當(dāng)確認(rèn)作品著作權(quán)的完整性、合法性,作品及內(nèi)容不得侵犯他人合法權(quán)益。

      {3}參考文獻(xiàn)應(yīng)以作者親自閱讀的近5年內(nèi)文獻(xiàn)為主,按引用的先后順序列出。

      {4}中文摘要300~500字,是以第三人稱對文中觀點(diǎn)進(jìn)行概括,能簡明反映論文的主要內(nèi)容信息。關(guān)鍵詞3~6個(gè)為宜。

      {5}作者簡介:姓名,出生年,性別,籍貫,單位(大小單位都要寫清,如:安徽大學(xué)外語學(xué)院)及所在省市、郵編,職稱或?qū)W位。

      注:因版權(quán)方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

      上海計(jì)量測試

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