利用射頻與高壓直接耦合等離子體注入進行不銹鋼表面改性
鞏春志 田修波 楊士勤 哈爾濱工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院現(xiàn)代焊接生產(chǎn)技術(shù)國家重點實驗室 哈爾濱150001
關(guān)鍵詞：射頻 高壓 耦合 等離子體離子注入 不銹鋼
摘要：介紹了一種新的等離子體離子注入在不銹鋼表面改性上的應(yīng)用。將高壓脈沖和射頻脈沖直接耦合到工件上，不需外部等離子體源，利用工件自身加射頻產(chǎn)生等離子體，隨后施加高壓對不銹鋼表面進行了注氮處理。XPS分析顯示，在基體表面有氮元素存在，說明實現(xiàn)了射頻與高壓直接耦合的離子注入效果。進一步研究表明，等離子體離子注入后，在不銹鋼基體表層形成了Cr2O3以及CrN，F(xiàn)eN等硬質(zhì)相，因此處理后的試件耐摩擦、磨損和耐腐蝕性能得到了較大提高。同時研究顯示，射頻脈沖寬度或射頻與高壓相位的改變對摩擦系數(shù)影響不大。
微細加工技術(shù)雜志要求:
{1}請在來稿中注明作者姓名、出生年月、單位、職稱及聯(lián)系方式。
{2}來稿文責(zé)自負，作者應(yīng)對文章的署名和內(nèi)容無異議，請保證稿件的原創(chuàng)性，不侵犯他人的著作權(quán)，請勿抄襲或者重復(fù)刊發(fā)文章。
{3}論文標題應(yīng)準確、簡明、具體，能概括文章的核心內(nèi)容，一般不超過20個字。
{4}引征二手文獻、資料，需注明該原始文獻資料的作者、標題，并在其后標注“轉(zhuǎn)引自”及該援引的文獻、資料等。
{5}摘要篇幅以50~300字不宜，寫成報道性摘要，內(nèi)容包括研究工作的目的、方法、結(jié)果和結(jié)論。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
相關(guān)期刊
