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不同激光損傷程度下K9玻璃形貌的Sinc函數(shù)表征
關(guān)鍵詞：激光損傷 k9光學(xué)元件 sinc函數(shù) 表面輪廓表征
摘要：為滿(mǎn)足對(duì)高能激光系統(tǒng)中損傷光學(xué)元件修復(fù)及對(duì)后端光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行分析的應(yīng)用需求,針對(duì)高斯激光造成不同損傷程度的K9光學(xué)元件建立了損傷表面輪廓的數(shù)學(xué)表征方法。首先,開(kāi)展了激光輻照效應(yīng)實(shí)驗(yàn),獲取了不同損傷程度的K9光學(xué)元件樣品,并通過(guò)Zygo白光干涉儀獲取樣品表面3維形貌原始數(shù)據(jù);其次,利用高斯濾波算法對(duì)表面輪廓進(jìn)行提取,并構(gòu)建合適的坐標(biāo)系;最后,利用Sinc函數(shù)構(gòu)建了一組正交輪廓曲線(xiàn)。結(jié)果表明,3種不同損傷程度K9玻璃的1維輪廓均可用類(lèi)Sinc函數(shù)描述,表征結(jié)果與實(shí)際濾波后輪廓曲線(xiàn)之間的擬合偏差為0.5~7μm。
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