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聲表面波陀螺儀研究進展
關鍵詞：聲表面波陀螺儀 聲表面波陀螺效應 慣性導航 哥氏力
摘要：高精度的慣性導航系統(tǒng)是水下航行器順利完成水下作業(yè)的關鍵之一,陀螺儀作為一種重要的慣性敏感元件,是構(gòu)成慣性導航系統(tǒng)的基礎核心器件?；诼暠砻娌ㄍ勇菪男滦屯勇輧x具有優(yōu)良的抗振能力、良好的可靠性與穩(wěn)定性等特點而引起人們的濃厚興趣,在大沖擊等惡劣環(huán)境具有良好的應用前景。本文對聲表面波陀螺儀的研究進展進行回顧,特別介紹了一種設置金屬點陣的陀螺效應增強模式SAW陀螺儀。該結(jié)構(gòu)由在同一壓電晶體上反向設置的兩個SAW傳感器件構(gòu)成,在其叉指換能器中間分布有金屬點陣。結(jié)合層狀介質(zhì)中聲波傳輸特性的研究方法對壓電晶體及金屬點陣參數(shù)對傳感器響應特性的影響進行建模分析,設計并實驗研制了工作頻率為30MHz、80MHz及95MHz的SAW陀螺儀。實驗結(jié)果表明,該結(jié)構(gòu)陀螺儀實現(xiàn)了良好的溫度補償特性,并通過在SAW傳播路徑上合理設置的金屬點陣,大幅提升了傳感器的檢測靈敏度。
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