購物車(0)
MOS型氣體傳感器加熱板的結(jié)構(gòu)優(yōu)化
武一; 苑麗靜; 花中秋; 邱志磊 河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院; 天津300401
關(guān)鍵詞：有限元 mos 傳感器 加熱板 溫度分布
摘要：針對半導(dǎo)體金屬氧化物(MOS)氣體傳感器功耗大的問題,對加熱電極的線寬和間距做了優(yōu)化,用有限元仿真軟件COMSOL對加熱板進行模擬分析,并對加熱板溫度進行測試。為進一步降低功耗,提高溫度均勻性,提出在加熱電極一側(cè)添加一層電絕緣、熱絕緣的包覆膜。對添加不同材料不同厚度包覆膜的加熱板進行模擬分析,并用紅外熱像儀對加熱板的溫度分布進行測試。結(jié)果表明,添加包覆膜可降低功耗,提高溫度均勻性,提高傳感器響應(yīng)速率,且包覆膜越薄越好。
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
{1}多位作者的署名之間用逗號隔開；不同單位的作者，應(yīng)在姓名右上角加注不同的阿拉伯數(shù)字序號，并在其單位名之前加注相應(yīng)的數(shù)字；作者單位之間連排時以分號隔開。
{2}對所投稿件，本刊有權(quán)根據(jù)本刊辦刊要求對其進行適當刪改或調(diào)整，作者如不愿被改動，來稿時請注明。
{3}文中標題層次用阿拉伯數(shù)字連續(xù)編號，例如：1…，2…，2.1…，2.1.1…，一律左頂格。一、二級標題后的正文另起，縮進2字。三級標題后空1字接正文。
{4}參考文獻：按照中文參考文獻在前，日文參考文獻次之，西文參考文獻居后的順序排列。各語種參考文獻以作者姓名讀音為序。
{5}摘要中如采用非標準的術(shù)語、縮寫詞和符號等，均應(yīng)在首次出現(xiàn)時予以說明。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
