購物車(0)
MOEMS器件的硅微透鏡陣列制造工藝
關(guān)鍵詞：微透鏡陣列 moems 硅微加工技術(shù) 光刻膠熱熔法 icprie
摘要：開發(fā)了一種適于MOEMS器件的基于硅微加工技術(shù)的簡易的硅微透鏡陣列制造工藝。通過光刻膠熱熔法與ICPRIE(感應(yīng)耦合等離子反應(yīng)離子刻蝕)相結(jié)合的方式,實現(xiàn)在硅晶圓上批量生產(chǎn)微透鏡陣列。通過多層涂膠的方式以及以2.5℃/min的速率從115℃升溫至130℃的熱熔工藝,獲得口徑為2.41 mm、矢高99.9μm的光刻膠微透鏡陣列。通過控制ICPRIE的膠與硅的刻蝕選擇比達(dá)到約1∶1,將光刻膠曲率準(zhǔn)確地轉(zhuǎn)移到硅晶圓上。
儀表技術(shù)與傳感器雜志要求:
{1}多位作者的署名之間用逗號隔開；不同單位的作者，應(yīng)在姓名右上角加注不同的阿拉伯?dāng)?shù)字序號，并在其單位名之前加注相應(yīng)的數(shù)字；作者單位之間連排時以分號隔開。
{2}對所投稿件，本刊有權(quán)根據(jù)本刊辦刊要求對其進行適當(dāng)刪改或調(diào)整，作者如不愿被改動，來稿時請注明。
{3}文中標(biāo)題層次用阿拉伯?dāng)?shù)字連續(xù)編號，例如：1…，2…，2.1…，2.1.1…，一律左頂格。一、二級標(biāo)題后的正文另起，縮進2字。三級標(biāo)題后空1字接正文。
{4}參考文獻：按照中文參考文獻在前，日文參考文獻次之，西文參考文獻居后的順序排列。各語種參考文獻以作者姓名讀音為序。
{5}摘要中如采用非標(biāo)準(zhǔn)的術(shù)語、縮寫詞和符號等，均應(yīng)在首次出現(xiàn)時予以說明。
注：因版權(quán)方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
