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分壓力質(zhì)譜計校準技術(shù)研究進展
吳成耀; 成永軍; 孫雯君; 董猛; 馮天佑; 李海濤 蘭州空間技術(shù)物理研究所真空技術(shù)與物理重點實驗室; 蘭州730000; 東北大學(xué)機械工程與自動化學(xué)院; 沈陽110819
關(guān)鍵詞：分壓力 校準 質(zhì)譜計
摘要：在含有混合氣體的高真空環(huán)境中,全壓力真空規(guī)的計量結(jié)果通常會隨著被測氣體成分的改變而產(chǎn)生較大的差異,因此,需要進行氣體成分的檢測及分壓力的計量。質(zhì)譜計作為氣體成分檢測及分壓力計量的主要工具,為保證其定量檢測的準確性,必須進行校準。從原理上對質(zhì)譜計校準方法進行了總結(jié),介紹了當(dāng)前國內(nèi)外計量機構(gòu)使用的部分校準裝置以及當(dāng)前分壓力計量的光學(xué)及量子相關(guān)方法的發(fā)展現(xiàn)狀,提出了質(zhì)譜計校準存在的問題和未來的發(fā)展方向。
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